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公式及換算
1、羅茨泵的前級抽速:S=(0.1-0.2)S羅
2、粗抽泵的抽速選擇:2.3Kq.v.lg(Pa/P預)/t
S -機械泵有效抽速(升/秒)
S羅-羅茨泵有效抽速(升/秒)
Q1 -真空系統漏氣率(托升/秒)
P預-需要達到的預真空度(托)
v-真空系統容積(升)
t-達到P預時所需要的時間
Pa-大氣壓值(托)
Kp-修正系數與設備終值時壓強P有關
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